拋光漿是根據(jù)白寶石(Al2O3)的化學(xué)物理性質(zhì)以及有關(guān)的化學(xué)反應(yīng)原理為依據(jù),精選數(shù)種試劑,經(jīng)再配制及有關(guān)化學(xué)反應(yīng)而研制成功的。分為兩種劑型,用于粗拋光工藝和精拋光工藝。該拋光漿也可做成濃縮母液,便于使用和運(yùn)輸。使用時,將濃縮母液用高純水稀釋后使用,無毒、無味。
在白寶石(Al2O3)晶體基片的加工工藝中,拋光原理應(yīng)符合下列設(shè)想:首先,該拋光液中的某種成份將Al2O3氧化,使AL2O3表面形成離子形式,在堿性條件下,即有偏鋁酸根離子生成:
Al+ + + + 3OH- → H2O + HAlO2 → H + AlO2-
在機(jī)械條件作用下,這些離子進(jìn)入拋光液中,從而使Al2O3晶體基片露出新的表面來,使得拋光液中的某種成份和Al2O3晶體基片表面能夠繼續(xù)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。進(jìn)入拋光液中的偏鋁酸根離子與拋光漿中的某種金屬離子進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),生成結(jié)晶沉淀,這些結(jié)晶沉淀反過來又參與拋光。以上過程反復(fù)進(jìn)行,使白寶石(Al2O3)晶體基片表面的平整度和光潔度達(dá)到工藝要求。